中國(guó)科學(xué)院微電子研究所射頻電源(RFGenerator)課題組(http://www.rf-power.net)從1984年開(kāi)始研發(fā)電子管射頻電源(13.56MHz)，1985年研制成功，獲得“六五”攻關(guān)榮譽(yù)證書(shū)以及“FD-2反應(yīng)離子刻蝕機(jī)與超精細(xì)刻蝕研究”項(xiàng)目二等獎(jiǎng)。

從2010年開(kāi)始受到極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝專項(xiàng)（國(guó)家02重大專項(xiàng)）資金支持，研發(fā)晶體管射頻電源，2011年研發(fā)成功300W-3000W晶體管射頻電源(13.56MHz)，獲得第七屆國(guó)際發(fā)明展覽會(huì)銀獎(jiǎng)與第七屆北京發(fā)明創(chuàng)新大賽金獎(jiǎng)。

經(jīng)過(guò)二十多年的發(fā)展完善，產(chǎn)品的性能不斷提高，規(guī)格齊全,年銷售電子管與晶體管射頻源占國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額的70%以上。
目前射頻電源組分為三個(gè)部門：產(chǎn)品研發(fā)部，產(chǎn)品生產(chǎn)部，產(chǎn)品推廣與售后服務(wù)部。

產(chǎn)品研發(fā)部：有專業(yè)研發(fā)人員7人，其中碩士及以上比例100%，具有教授級(jí)職稱2人，具有博士學(xué)歷3人，從清華大學(xué)，中科院電工所，中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)引進(jìn)資深射頻技術(shù)與自動(dòng)控制專家3人，目前已建立起一支由高級(jí)研發(fā)顧問(wèn)領(lǐng)導(dǎo)的國(guó)際化研發(fā)人才團(tuán)隊(duì)。

產(chǎn)品生產(chǎn)部：有專業(yè)技術(shù)工程師17人，具有500平方專業(yè)射頻電源生產(chǎn)與測(cè)試車間（可以進(jìn)行ESD，EMC等測(cè)試），年生產(chǎn)能力達(dá)3000臺(tái)套。

產(chǎn)品推廣與售后服務(wù)部：有專業(yè)推廣銷售人員4人，專業(yè)售后服務(wù)人員2人，其中碩士及以上比例100%。

目前開(kāi)發(fā)成熟的電子管與晶體管射頻電源產(chǎn)品有：300W、500W、1KW、1250W、1.5KW、2KW、3KW、5KW、6KW、8KW、10KW等多種規(guī)格以及不同功率的400KHz高頻電源及不同功率的穩(wěn)流源與自動(dòng)匹配器。

射頻電源廣泛應(yīng)用于等離子體研究，集成電路工藝設(shè)備，太陽(yáng)能光伏工業(yè)，LED制程，薄膜生長(zhǎng)，感應(yīng)加熱，醫(yī)療領(lǐng)域的消毒與理療，等離子清洗等領(lǐng)域。

產(chǎn)品現(xiàn)已售往北京、上海、杭州、蘇州、香港、南京、西安、成都、深圳等地的幾十所高校、科研單位及半導(dǎo)體設(shè)備廠等高技術(shù)公司，得到用戶的一致好評(píng)。