中國科學(xué)院微電子研究所射頻電源(RFGenerator)課題組(http://www.rf-power.net)從1984年開始研發(fā)電子管射頻電源(13.56MHz)，1985年研制成功，獲得“六五”攻關(guān)榮譽(yù)證書以及“FD-2反應(yīng)離子刻蝕機(jī)與超精細(xì)刻蝕研究”項(xiàng)目二等獎。
從2010年開始受到極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝專項(xiàng)（國家02重大專項(xiàng)）資金支持，研發(fā)晶體管射頻電源，2011年研發(fā)成功300W-3000W晶體管射頻電源(13.56MHz)，獲得第七屆國際發(fā)明展覽會銀獎與第七屆北京發(fā)明創(chuàng)新大賽金獎。
經(jīng)過二十多年的發(fā)展完善，產(chǎn)品的性能不斷提高，規(guī)格齊全,年銷售電子管與晶體管射頻源占國內(nèi)市場份額的70%以上。
目前射頻電源組分為三個部門：產(chǎn)品研發(fā)部，產(chǎn)品生產(chǎn)部，產(chǎn)品推廣與售后服務(wù)部。
產(chǎn)品研發(fā)部：有專業(yè)研發(fā)人員7人，其中碩士及以上比例100%，具有教授級職稱2人，具有博士學(xué)歷3人，從清華大學(xué)，中科院電工所，中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)引進(jìn)資深射頻技術(shù)與自動控制專家3人，目前已建立起一支由高級研發(fā)顧問領(lǐng)導(dǎo)的國際化研發(fā)人才團(tuán)隊(duì)。
產(chǎn)品生產(chǎn)部：有專業(yè)技術(shù)工程師17人，具有500平方專業(yè)射頻電源生產(chǎn)與測試車間（可以進(jìn)行ESD，EMC等測試），年生產(chǎn)能力達(dá)3000臺套。
產(chǎn)品推廣與售后服務(wù)部：有專業(yè)... [詳細(xì)介紹]