中國科學院微電子研究所射頻電源(RFGenerator)課題組(http://www.rf-power.net)從1984年開始研發(fā)電子管射頻電源(13.56MHz)，1985年研制成功，獲得“六五”攻關榮譽證書以及“FD-2反應離子刻蝕機與超精細刻蝕研究”項目二等獎。
從2010年開始受到極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝專項（國家02重大專項）資金支持，研發(fā)晶體管射頻電源，2011年研發(fā)成功300W-3000W晶體管射頻電源(13.56MHz)，獲得第七屆國際發(fā)明展覽會銀獎與第七屆北京發(fā)明創(chuàng)新大賽金獎。
經過二十多年的發(fā)展完善，產品的性能不斷提高，規(guī)格齊全,年銷售電子管與晶體管射頻源占國內市場份額的70%以上。
目前射頻電源組分為三個部門：產品研發(fā)部，產品生產部，產品推廣與售后服務部。
產品研發(fā)部：有專業(yè)研發(fā)人員7人，其中碩士及以上比例100%，具有教授級職稱2人，具有博士學歷3人，從清華大學，中科院電工所，中國科學技術大學引進資深射頻技術與自動控制專家3人，目前已建立起一支由高級研發(fā)顧問領導的國際化研發(fā)人才團隊。
產品生產部：有專業(yè)技術工程師17人，具有500平方專業(yè)射頻電源生產與測試車間（可以進行ESD，EMC等測試），年生產能力達3000臺套。
產品推廣與售后服務部：有專業(yè)... [詳細介紹]